集成電路的歷史從1958年TI的一顆Flip-Flop電路開始，那時候只有兩個晶體管組成一個反相器而已。發展至今已有十億個晶體管的CPU了，而這些都不得不來自于半導體制造業的技術推進得以持續scalable。
半導體能夠變成現實主要是它能夠實現“0”和“1”的二進制轉換，而在硬件上就是從真空二極管(Vacuum Tube)開始的。大概在第二次世界大戰的時候，電子計算機開始投入適用主要用于通信密碼破譯，但是這些晶體管的性能會很快退化增加Trouble shooting的時間，間接阻礙了半導體行業的發展。
直到1947年，貝爾實驗室的三位前輩其中一位是William Shockley他們發明了點接觸的Ge晶體管，然后1950年，Shockley又發明了BJT。這些和真空二極管比起來，可靠性和功耗以及尺寸都得到了很搭提高。尤其是BJT是三端晶體管可以當作電控開關(electrical switch)，其中一個端子就可以作為控制端。1958年，TI的Jack Kilby在Silicon上做出了兩個BJT，開啟了“Silicon Age”。早期的電路都是用BJT做的，從BJT的原理可以直到，BJT是靠電流驅動的(Base加電流)，而Ice又是雙載流子器件，所以它除了驅動電流大之外，還有個問題就是靜態漏電也大，所以如果你的電路非常龐大你的漏電功耗損失將無法接收，所以限制了它的適用。
到1963年，仙童公司(Fairchild)公司發明了NMOS和PMOS對稱互補器件組成的CMOS電路，這就是現在我們耳熟能詳的CMOS技術。由于它的控制極Gate是靠柵極跨過Gate Dielectric電場耦合實現的，所以沒有控制電流產生的靜態功耗，所以理論靜態功耗可以到“0”(當然實際上還是有Gate leakage)。實際上早期IC都是只用NMOS+BJT實現電路的，而沒有用PMOS，因為那個時候沒有Twin Well技術。直到1980年代CPU的晶體管已經到了幾千個了，而這時候的功耗已經無法接收了，才不得不走入CMOS(Twin Well)時代。
